Miniatur-Wägezellen sind Präzisions-Kraftmessgeräte, die auf der Grundlage der MEMS-Technologie (Microelectromechanical Systems) entwickelt wurden. Sie gehören zur Kategorie der mikroelektromechanischen Geräte und ihr zentraler technologischer Durchbruch liegt in der nanoskaligen Optimierung von piezoresistiven Halbleiter-Sensorelementen.
Miniatur-Wägezellen erreichen ihre Messung hauptsächlich durch die Erzeugung elektrischer Signale durch die mechanische Verformung einer Miniaturmembran. Die Kernkomponente nutzt einen MEMS-Dehnmessstreifen. Diese Sensoren lassen sich auf wenige Millimeter miniaturisieren und wiegen nur wenige Gramm. Die Verbundverpackungstechnologie verwendet eine zweischichtige -Metall--Struktur aus Silikon, die Schutz vor Feuchtigkeit und Staub bietet und gleichzeitig die Temperaturdrift innerhalb von ±0,005 %/Grad kontrolliert.
Miniatur-Wägezellen umfassen zwei Haupttypen: Miniatur-Drucksensoren und Miniatur-Beschleunigungsmesser. Sie können in intelligente tragbare Geräte (z. B. Gewichtsüberwachungsfunktionen in Smartwatches), Unterhaltungselektronik (z. B. druckempfindliche Tasten auf Smartphones), Wägen in industriellen Produktionslinien, Verpackungsmessung, Materialdosierung und medizinische Geräte (z. B. gemeinsame Kraftrückkopplungssysteme in chirurgischen Robotern) integriert werden, wodurch die Anwendungsgrenzen von Wägezellen erweitert werden.