Die wichtigsten Merkmale von Miniatur-Wägesensoren sind ihre Miniaturisierung und hohe Präzision. Dank der MEMS-Technologie (Micro-Electro-Mechanical Systems) lässt sich ihre Größe auf wenige Millimeter und ihr Gewicht auf nur wenige Gramm reduzieren. Einige Produkte haben eine hohe Genauigkeit von ±0,03 % erreicht.
Diese Sensoren verfügen über eine hervorragende Anpassungsfähigkeit an die Umwelt und eine Langzeitstabilität. Sie erreichen hohe Schutzniveaus wie IP67 durch die Verwendung einer speichenartigen Dichtungsstruktur oder verwenden eine Verbundverpackungstechnologie, um die Temperaturdrift innerhalb von ±0,005 %/Grad zu kontrollieren und so die Messstabilität sicherzustellen.
Kontinuierliche Innovationen im Strukturdesign sind ebenfalls erkennbar, beispielsweise die Verwendung einer Doppelscherbalkenstruktur zur Eliminierung von Querkraftinterferenzen oder die Entwicklung flexibler Substratsensoren zur Anpassung an Messungen gekrümmter Oberflächen.