Das Kernprinzip hochpräziser Sensoren besteht in der Umwandlung der gemessenen Größe in ein präzises, stabiles und zuverlässiges elektrisches Signal durch präzises Design, fortschrittliche Herstellungsprozesse, komplexe Signalverarbeitungsalgorithmen und strenge Fehlerkompensationstechniken. Zu den Schlüsselaspekten zur Erzielung hoher Präzision gehören: Optimierung grundlegender Sensorprinzipien, Hochleistungsmaterialien und Präzisionsstrukturen, fortschrittliche Herstellungsprozesse (wie MEMS), rauscharme, hochpräzise elektronische Schaltkreise, Temperaturkompensation, Nichtlinearität und Linearisierung, Kalibrierung und Standardisierung, digitale Signalverarbeitung sowie Interferenzunterdrückung und -abschirmung. Die Kernidee besteht darin, alle möglichen Fehlerquellen tiefgreifend zu verstehen und zu quantifizieren und diese Fehler durch die gemeinsame Gestaltung von Hardware und Software aktiv zu beseitigen oder zu kompensieren.
Im Bereich der Präzisionsfertigung und -prüfung werden Hochpräzisionssensoren für hochpräzise Verschiebungs-, Dimensions- und Oberflächentopographiemessungen verwendet, wie z. B. der Stiftkontaktsensor GT2-P12KL-für die Erkennung im Mikrometerbereich.
Im Bereich der Prozesssteuerung und -überwachung werden hochpräzise Sensoren in rauen Industrieumgebungen wie der Chemie- und Energieindustrie zur äußerst zuverlässigen Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Durchflussrate eingesetzt, wie beispielsweise die hochpräzisen Drucksensoren der PX409-Serie von OMEGA.
